产品详情
简单介绍：
四探针电阻率又名方块电阻测试仪，主要用于测量电阻率及方块电阻（只测量非金属薄膜，避免设备污染）。提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，jing确与软件控制下针、软件功能可化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，zui多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。
详情介绍：
CDEResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪
一、四探针电阻率产品介绍
四探针电阻率又名方块电阻测试仪，主要用于测量电阻率及方块电阻（只测量非金属薄膜，避免设备污染）。提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，jing确与软件控制下针、软件功能可化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，zui多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。
二、四探针电阻率技术参数
1薄膜电阻测量范围: 10-5Ω.cm~105Ω.cm
2方块电阻测量范围:10-3Ω/□至106Ω/□
3晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片
4具有2D、3D Mapping的数据分析功能。
5具有测试数据自动导出功能。
三、四探针电阻率典型应用
1非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；
2选择性发射极扩散片；
3表面钝化片；
4交叉指样PN结扩散片；
5电极设计，如电镀铜电阻测量等
