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  • 产品名称：烘箱

  • 产品型号：YES　HMDS
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
烘箱适用范围 烘箱主要用户半导体光刻工艺中硅片表面改性；增加光刻胶对硅片的黏附性。
详情介绍：

YES　HMDS 烘箱

产品简介

烘箱主要用户半导体光刻工艺中硅片表面改性；增加光刻胶对硅片的黏附性。


技术参数

基片尺寸：支持2、3、4、6、8英寸基片及破片

温度范围：RT～160℃

温度精度：＋/-1℃@100℃

加热时间：30min @RT~160℃

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